Mesure de l’épaisseur de haute précision de films électriquement conducteurs
Le système de mesure capacitif TFG6220 mesure avec une précision maximum l’épaisseur de films électriquement conducteurs, tels que des films de batteries. Un dispositif d’aspiration aspire l’objet à mesurer et le lisse, assurant ainsi une surface optimale et sans plis. De cette manière, la mesure peut être effectuée avec la précision la plus élevée possible. Le système est utilisé pour le contrôle qualité sur des prélèvements hors ligne. Le TFG6220 est prémonté pour pouvoir être rapidement opérationnel.
Caractéristiques
- Contrôle hors ligne rapide de l’épaisseur de film
- Résolution : 10 nm
- Répétabilité élevée : 1 µm
- Épaisseur de film : < 1 mm
- Résultats de haute précision grâce au lissage automatique du film par le vide
- Un élément de mesure intégré permet un référencement simple avant la mesure d’épaisseur
- Interface web pour un réglage et un affichage de la mesure intuitifs (une installation de logiciel n’est pas nécessaire)
Qualité fiable grâce à un contrôle précis
Le TFG6220 se compose d’un étrier de mesure avec capteurs et d’un contrôleur capaNCDT. L’épaisseur est calculée par la compensation entre les deux capteurs capacitifs. Un lissage automatique de l’objet à mesurer est effectué par un dispositif d’aspiration raccordé de façon externe. Ce procédé permet d’obtenir des résultats au micromètre près.
Le capteur capacitif (1) monté de façon fixe dans la partie supérieure de l’étrier de mesure mesure la distance avec l’objet à mesurer (2). Grâce à l’élément de mesure (3), l’objet à mesurer est aspiré par vide et tendu sur une surface de référence. Le capteur capacitif dans la partie inférieure (4) effectue une mesure sur l’élément de mesure et compense le décalage mécanique de la surface d’appui.