Solutions de capteur de haute précision pour l’industrie des semi-conducteurs
Dans le secteur des semi-conducteurs, les installations de production doivent être équipées des capteurs les plus modernes pour répondre aux exigences croissantes en matière de qualité et de rentabilité. Les plus petits mouvements doivent pouvoir être décelés, les moindres dépassements de tolérance détectés de manière fiable et les processus surveillés, et ce à la limite de ce qui est physiquement possible. Les systèmes de capteurs de Micro-Epsilon ont fait leurs preuves depuis de nombreuses années dans l’industrie des semi-conducteurs et offrent toujours la solution adaptée pour diverses tâches de mesure, que ce soit pour des processus front-end complexes, des applications back-end ou pour l’automatisation de la production de wafers.
Pourquoi Micro-Epsilon ?
- Plus de précision et d’innovation - Made in Germany
- Conseil, développement et production auprès d’un fournisseur unique
- Main dans la main avec nos clients : qualité et compétence des solutions en série et pour les équipementiers
- Un savoir étendu en matière de technologie et d’applications de la production de semi-conducteurs
Technologie de capteurs de précision pour la surveillance et la régulation dynamiques des machines
Les capteurs optimisés de Micro-Epsilon sont utilisés dans la construction de semi-conducteurs pour obtenir des mesures précises. Dans ces applications, ils sont exposés à des accélérations élevées, des champs magnétiques importants et à l’ultravide. Nos capteurs sont soumis à de très hautes exigences de qualité, ils surveillent entre autres l’alignement de masques photographiques et de systèmes de lentilles, le positionnement lors de la manipulation des wafers et la position correcte des miroirs et éléments optiques.
Nos solutions de capteurs pour l’industrie des semi-conducteurs
Nous vous proposons une gamme complète de capteurs et appareils de mesure de précision pour les étapes les plus diverses de la fabrication des semi-conducteurs. Pour les applications en série, nous développons et produisons des solutions adaptées de capteurs et d’actionneurs. Nous disposons des procédés et capacités de production nécessaires pour que vous puissiez utiliser nos capteurs même dans des environnements exigeants.
Procédés modernes de production pour les capteurs de haute précision
En raison des exigences élevées dans le domaine de la fabrication des semi-conducteurs, tous les capteurs et systèmes de Micro-Epsilon sont soumis à des processus complexes de production et de contrôle. Cela concerne entre autres la sélection et le placement des éléments électroniques, la construction mécanique ainsi que les technologies spéciales des procédés de fabrication. Par ailleurs, des matériaux de capteur spécifiques aux applications sont utilisés pour répondre aux exigences de qualité les plus élevées.
- Technologie laser à impulsions ultracourtes
- Brasage sous vide à haute température
- Production de précision
- Essais de déverminage
- Installations entièrement automatiques d’encapsulation
- Passivation et revêtement de composants et groupes de commutation
Conception adaptée du capteur selon les besoins individuels du client
- Faibles dégagements de gaz
- Utilisable en vide
- Possibilités de nettoyage
- Technologies conformes à l’ultravide
- Technologies de connexion
- Inscription et emballage conformes pour les semi-conducteurs
- Standards élevés d’assurance qualité
Plus de précision pour les semi-conducteurs
Micro-Epsilon propose la solution idéale pour de nombreuses applications de l’industrie des semi-conducteurs, du positionnement précis de la machine à l’inspection des wafers en passant par la mesure topographique. Nos capteurs sont utilisés aussi bien dans les processus front-end que back-end et séduisent par leur précision et leur fiabilité maximales.
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