Mesure de haute précision de l'épaisseur des tranches de silicium

Des capteurs de déplacement capacitifs sont utilisés pour la mesure exacte de l'épaisseur des tranches. Deux capteurs opposés mesurent l'épaisseur et déterminent d'autres paramètres tels que la flexion ou les marques de sciage. La position de la tranche dans la fente de mesure peut varier sans affecter la précision de mesure.